TCO/ITO-Schichten mit UV-Laser strukturieren
Feinste Isolierungen auf unsichtbaren Schichten
Materialschonender Laserabtrag von ITO-Schichten
ITO ist ein, im sichtbaren Wellenlängenbereich, transparentes leitfähiges Material. Es wird in Schichtdicken von einigen 10nm bis zu einigen 100nm auf Glas oder Kunststofffolien aufgebracht. Das häufigste Verfahren dabei ist die Kathodenzerstäubung, auch Sputtern genannt. Die Beschichtung selbst bietet LaserMicronics nicht als Dienstleistung an.
Die meisten Anwendungsgebiete setzen eine Strukturierung voraus. Dafür ist die UV-Lasertechnik die erste Wahl. Hier wendet LaserMicronics ein Verfahren an, das mittels UV-Laserstrahlung völlig unsichtbare Isolationen auf den Substratoberflächen erzeugt.
Durch die sehr gute Absorption der eingesetzten UV-Laserstrahlung kann die ITO-Schicht ohne Schädigung des Trägermaterials abgetragen werden. Der Laser erzeugt hier feinste unsichtbare Isolationsbahnen mit einer Breite von < 50µm.
Die Einsatzbereiche für die laserstrukturierten TCO/ITO-Substrate sind vielfältig und reichen von der Erzeugung leitfähiger Bahnen für die Displaytechnologie und Sensoren über thermische Anwendungen bis hin zu Anwendungen in der Labor- und Medizintechnik.
Benötigen Sie Unterstützung bei der TCO/ITO-Strukturierung? Wir finden gemeinsam mit Ihnen die Lösung zu Ihren individuellen Anforderungen!
Vorteile der Laserstrukturierung von TCO/ITO-Schichten
- Absolut unsichtbare Strukturierung transparenter ITO-Beschichtungen
- Keine Schädigung des Trägermaterials
- Flexibilität: Das Layout kann jederzeit geändert werden
- Strukturierung direkt aus CAD-Daten
- Reduzierung von Technologieschritten (kein Resistauftrag, kein Ätzen)
- Feinste Strukturen mit <50 µm Lines/Spaces möglich
- Hohe Positioniergenauigkeit durch Registrierung von Passermarken oder andere sichtbare Markierungen