LaserMicronics

LaserMicronics Dienstleistungen

Bearbeitung von
ITO Schichten

TCO/ITO-Schichten mit UV-Laser strukturieren

Feinste Isolierungen auf unsichtbaren Schichten

Unter TCO (Transparent Conductive Oxides) versteht man elektrisch leitfähige Materialien, die in dünnen Schichten auf transparenten Trägermaterialien aufgebracht werden. Besonders häufig kommen hier ITO-Schichten (engl.: Indium Tin Oxide) zur Anwendung. Diese lassen sich mit dem UV-Laser sehr selektiv strukturieren.

Materialschonender Laserabtrag von ITO-Schichten

ITO ist ein, im sichtbaren Wellenlängenbereich, transparentes leitfähiges Material. Es wird in Schichtdicken von einigen 10nm bis zu einigen 100nm auf Glas oder Kunststofffolien aufgebracht. Das häufigste Verfahren dabei ist die Kathodenzerstäubung, auch Sputtern genannt. Die Beschichtung selbst bietet LaserMicronics nicht als Dienstleistung an.

Die meisten Anwendungsgebiete setzen eine Strukturierung voraus. Dafür ist die UV-Lasertechnik die erste Wahl. Hier wendet LaserMicronics ein Verfahren an, das mittels UV-Laserstrahlung völlig unsichtbare Isolationen auf den Substratoberflächen erzeugt.

Durch die sehr gute Absorption der eingesetzten UV-Laserstrahlung kann die ITO-Schicht ohne Schädigung des Trägermaterials abgetragen werden. Der Laser erzeugt hier feinste unsichtbare Isolationsbahnen mit einer Breite von < 50µm.

Die Einsatzbereiche für die laserstrukturierten TCO/ITO-Substrate sind vielfältig und reichen von der Erzeugung leitfähiger Bahnen für die Displaytechnologie und Sensoren über thermische Anwendungen bis hin zu Anwendungen in der Labor- und Medizintechnik.

Benötigen Sie Unterstützung bei der TCO/ITO-Strukturierung? Wir finden gemeinsam mit Ihnen die Lösung zu Ihren individuellen Anforderungen!

Vorteile der Laserstrukturierung von TCO/ITO-Schichten

  • Absolut unsichtbare Strukturierung transparenter ITO-Beschichtungen
  • Keine Schädigung des Trägermaterials
  • Flexibilität: Das Layout kann jederzeit geändert werden
  • Strukturierung direkt aus CAD-Daten
  • Reduzierung von Technologieschritten (kein Resistauftrag, kein Ätzen)
  • Feinste Strukturen mit <50 µm Lines/Spaces möglich
  • Hohe Positioniergenauigkeit durch Registrierung von Passermarken oder andere sichtbare Markierungen
     

 Ihr Ansprechpartner

Neil Heine
Sales Manager Laser Schneid- und Strukturiertechnologie
LPKF Laser & Electronics AG
Osteriede 9a
D-30827 Garbsen
 
Tel.: +49 (0) 5131 7095-2522
Fax: +49 (0) 5131 7095-29

Ihre Kontaktdaten

Ihre Nachricht

Dateiupload

Bitte laden Sie Anlagen über das nachfolgende Formularfeld hoch. Die maximale Dateigröße beträgt 10 MB.

 

Ich stimme der Verarbeitung meiner Daten zu und erkläre mich mit den Datenschutzbestimmungen einverstanden.

* Pflichtfelder